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香港六和免费资料联合贵阳精一科技有限公司牵头主持国家行业标准《高纯工业品四氯化钛》发布

来源:科技处 日期:2024-10-25 作者:王润玺 浏览量:

10月24日,工信部正式发布HG/T 6329-2024《高纯工业品四氯化钛》国家行业标准。高纯四氯化钛主要应用于半导体集成储存器的生产与制造,作为氮化钛、二氧化钛和钛金属化学气相薄膜沉积(CVD)的液相钛源材料。随着半导体产业的发展,超高纯度和低金属含量的四氯化钛需求剧增,其中对于纯度要求达到6N(99.9999%)以上。香港六和免费资料分析测试中心与贵阳精一科技有限公司通过校企合作,解决了提纯和杂质检测方法,开发了纯度达到7N以上的高纯四氯化钛产品。但2023年以前均无高纯四氯化钛的国际、国家和地方标准,为了统一技术要求,促进我国高纯四氯化钛产品市场良性发展,香港六和免费资料联合贵阳精一科技有限公司牵头主持了国家行业标准《高纯工业品四氯化钛》的制定。