电子探针X射线显微分析仪

Electron Probe X-ray MicroAnalyser

型号：SHIMADZU EPMA 1720H   厂商：日本岛津公司

利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针，激发试样中某一微小区域，使其发出特征X射线，测定该X射线的波长和强度，对微区元素进行定性分析和定量分析。

1.主要技术参数

（1）二次电子像分辨率：5nm，背散射电子像分辨率：20nm（拓扑相、成分相）；

（2）电子枪：CeB6高亮度电子枪，预对中    

（3）加速电压：0～30Kv

（4）束流范围：10-5～10A        

（5）图像放大倍数×40～×400000，连续可调-12

（6）分析元素：5B～92U

（7）分析精度：高于1%（主要元素含量＞5%）和5%（次要元素含量～1%）

（8）分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s，可自动识别0.1wt%以上的元素

2.服务对象

（1）金属材料：钢铁、有色金属、合金；

（2）氧化物：玻璃、矿物、陶瓷；

（3）生物材料：动物、植物；

（4）高分子材料：树脂、植物；

（5）电子材料：电工电子半导体材料

3.检测案例

定性分析结果

点定量分析结果

线分析结果

合金中Cu元素分布                合金中Zn元素分布

4.送样要求

（1）样品表面光滑、清洁、可耐热；

（2）样品具有良好的导电性，不导电需进行喷金或喷碳处理；

（3）样品大小合适（块体直径小于20mm，高度小于10mm）；

（4）小颗粒或粉末样品需要制成光片或树脂靶，并磨平抛光喷碳。