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电子探针X射线显微分析仪
2024-05-23 14:23 赵宏龙  审核人:

电子探针X射线显微分析仪

Electron Probe X-ray MicroAnalyser

型号:SHIMADZU EPMA 1720H   厂商:日本岛津公司

利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针,激发试样中某一微小区域,使其发出特征X射线,测定该X射线的波长和强度,对微区元素进行定性分析和定量分析。

1.主要技术参数

1)二次电子像分辨率:5nm,背散射电子像分辨率:20nm(拓扑相、成分相);

2)电子枪:CeB6高亮度电子枪,预对中    

3)加速电压:030Kv

4)束流范围:10-510A        

5)图像放大倍数×40~×400000,连续可调-12

6)分析元素:5B92U

7)分析精度:高于1%(主要元素含量>5%)和5%(次要元素含量~1%

8)分析速度:自动全元素定性分析时间≤60s,可自动识别0.1wt%以上的元素

2.服务对象

1)金属材料:钢铁、有色金属、合金;

2)氧化物:玻璃、矿物、陶瓷;

3)生物材料:动物、植物;

4)高分子材料:树脂、植物;

5)电子材料:电工电子半导体材料

3.检测案例

定性分析结果

点定量分析结果

线分析结果

合金中Cu元素分布                合金中Zn元素分布

4.送样要求

1)样品表面光滑、清洁、可耐热;

2)样品具有良好的导电性,不导电需进行喷金或喷碳处理;

3)样品大小合适(块体直径小于20mm,高度小于10mm);

4)小颗粒或粉末样品需要制成光片或树脂靶,并磨平抛光喷碳。

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