热场发射扫描电子显微镜

Nova Nano SEM450 Hot Filed Emission Scanning Electron Microscope

型号：Nova Nano SEM 450   厂商：FEI Company（美国FEI公司）

扫描电子显微镜（SEM）利用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号对样品的宏观形貌及微观组织进行表征。另外，结合能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）等附件，能够将样品的微观形貌、元素分析、晶体取向及缺陷信息相结合，为科研人员提供了一个多维度分析平台。

1.主要技术参数

(1) 放大倍率：35倍～90万倍                              (2) 加速电压：0.2—30Kv

(3)点分辨率：1.0nm(15kV),1.4nm(1kV,WD=1.5mm,减速模式)    (4)信号选择：二次电子模式和背散射模式

(5)样品台最大直径：110mm                               (6)倾转角：T:-15°～70 °，R:360°

(7)X射线能谱仪元素分析范围：B5～U92                    (8)X射线能谱仪能量分辨率：130eV

2.服务对象

（1）金属、非金属材料的微观组织表征；

（2）元素定性、定量分析；

（3）断口形貌分析；

（4）晶体学取向测定与表征；

（5）晶界形态表征。

3.检测案例

4.送样要求

（1）粉末样品：样品量≥3mg，

（2）块体样品：长*宽*高≤50mm*50mm*15mm